各行業(yè)無塵車間溫濕度規(guī)范要求（參考）

無塵車間對溫濕度的控制取決于其生產(chǎn)工藝。例如怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度，相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事/故。今天，我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝。

示例 一

在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數(shù)，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在：（）以內(nèi)。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計恒溫系統(tǒng)時，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動控制時，須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

示例 二

在電子行業(yè)，制造車間是產(chǎn)生靜電的主要地方，通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事/故，所以電子行業(yè)的無塵車間相對濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

示例 三

SMT車間對溫度和濕度有明確的要求，主要是為了錫膏能工作在一個較好的環(huán)境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，后影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn): 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%。 

示例 四

在生物制藥的潔凈車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45％ 一50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％ ～55％RH，水針及口/服液55％ ～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。

示例 五

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。　濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事/故。相對濕度在50%時易生銹。

示例 六

食品、保健品、飲料等車間對對生產(chǎn)潔凈度要求比較高，通常為10萬級至萬級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細(xì)jun，細(xì)jun和其他生物污染,在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁zhi。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細(xì)jun的影響以及呼吸道感染降至低值。

綜合以上多個行業(yè)我們總結(jié)出溫濕度對無塵車間的五大影響

1、細(xì)jun生長;  
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;  

3、出現(xiàn)靜電荷;  

4、金屬fu蝕;  

5、水汽冷凝;  

6、光刻的退化; 

7、吸水性。

所以無塵車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產(chǎn)車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。